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產品中心

Product center

石墨烯，SiC等超高溫的超材料熱處理設備-日本thermo氣流高溫爐

發布時間：2020-09-08　點擊量：2118

日本thermo氣流高溫爐，超高溫超級RTA系統SR系列

樣品可以在30秒內迅速加熱到1800℃。
z適合于石墨烯，SiC熱解生成，SiC活化熱處理以及超高溫材料的熱處理。
新型氣流類型！

通過采用我們自己的紅外加熱技術，我們可以在30秒內完成高達1800℃的快速升溫測試。
達到1800℃的*溫度上升，功耗為2kW。
盡管是超高溫型號，但它使用的結構可將因熱而對芯管造成的損壞降至低。

	30秒內達到1800℃
	紅外輻射清潔加熱
	省電僅2kW
	高真空型和氣流型

	石墨烯/ SiC活化熱處理
	SiC活化熱處理
	超高溫材料加熱
	電子材料的熱循環試驗

超高溫超級RTA設備具有以下規格。

型號名稱	SR1800G	SR1800D	SR1800
紅外燈額定值	2千瓦
gao溫度	1800°攝氏度
加熱面積	φ15毫米
大加熱速度	100°C /秒	300°C /秒
氣體介紹	氣體流量	氣體吹掃
大極限真空	5×10 ^-3帕		5×10 ^-5帕
冷水量	2升/分鐘

SR-1800原理圖

	氣流型超級RTA設備SR1800G型
	臺式型超級RTA設備SR1800D型
	超高溫超高速超級RTA設備SR1800型

SR1800模型具有改進的氣流路徑，并具有在氣流過程中進行測試的jia結構。
另外，除了加熱功能以外的纖薄化還實現了低價格。
這是一種可供更多研究人員使用的設備。

該產品已通過減小腔室部件的尺寸而減小到桌面尺寸，同時又保持了SR1800型的加熱能力和易處理性。

SR-1800D

SR1800系列的高性能型號。
SR1800將樣品放在球面反射鏡中，并進行高效熱處理。
該設備是高度可擴展的設備，它結合了具有多個端口的真空室，一個安全回路和一個加熱體垂直機構。

渦輪分子泵可以連接到真空室，以支持10 ^-5 Pa的高真空。
可選的實驗包括氣壓調整等。

該設備是在東京新產品開發補貼項目的資助下開發的產品。

SR-1800

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