日本kakenjse實驗研究用曝光機MA-1200/MA-1400技術
MA-1200，MA-1400
MA-1200A
手動批量曝光機非常適合于高混合，小批量生產，實驗和研究，并且可以進行穩定的自動間隙控制。
?
| MA-1400 | ||
板子尺寸 | 大200 x | 高達400 x 400mm | |
光源 | 超高壓汞燈：500W或1kW | 超高壓汞燈：2kW或3.5kW | |
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 |
| 體重 | 400公斤 | 400kg（包括干凈的圍欄） |
| 光源重量 | -- | 250公斤 |
選項 | 支持特殊的工作尺寸，例如干凈的圍欄，背面對準，硬接觸（真空接觸類型），自動對準，破裂的基板（需要咨詢） | ||
我們接受有關板子尺寸，水銀燈瓦數和特殊規格的咨詢。
| MA-1200A | |
晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | |
光源 | 超高壓汞燈：500W或1kW | |
尺寸和重量 | 車身尺寸 | W850 x D1150 x H1665毫米 |
重量 | 400公斤 | |
選項 | 背面對齊，自動對齊，開裂的板，條形碼讀取器和LOG存儲支持（需要咨詢） | |
*我們接受有關特殊規格的咨詢，例如板子尺寸，水銀燈瓦數和UV-LED安裝。
