日本EHC薄膜基板實驗摩擦裝置MRG-100產品運用
薄膜基板開發和試制用高精度配向摩擦設備
日本ehc小型摩擦裝置MRM-100
•目的：用于LCD對準調查的實驗室用拉比機
•長凳型。
•基板加載：手動
•加載/卸載位置：拉桿前后
•最大基板尺寸：100mm×100mm
•基板厚度：最小0.1mm，最大2mm
•基板材料：玻璃、PC、COP等
黃色 松本
基板桌子
•速度：0～50mm/sec、1mm/sec、精度±可通過0.1mm/sec的步驟進行調整
•移動行程：300mm
•移動方向：垂直于滾筒、上下方向、上下方向（自動）
•工作臺旋轉：固定
•表格表面平坦度：±10μm
•基板固定：真空發生器吸附固定
•基板定位：手動
拉桿
•寬度：240mm
•直徑：48mm±0.01mm（以滾芯外徑定義）
•RPM：0?1500 rpm。 1rpm、精度±可通過0.1rpm的步驟進行調整（數字顯示）
•平行度對基板表：相對于全部寬度±10μm
•平行度對臺行程：以*的拉桿行程±10μm
•旋轉方向：順時針和逆時針
•上卷/下行程：10mm
•滾筒壓（行程）精度：±0.01 mm
•角度調整：±45°、1°可設定為單位
•布是天鵝絨黑色，吉川化工 YA-20-R 毛長2mm 密度32000根/cm^2
實用程序
•電源：AC100-240V 50/60Hz，最大500W
•壓空：0.5MPa
•尺寸 W600 ｘ D760 ｘ H807.2mm 重量：約80kg
