一、前期準(zhǔn)備：確保測量精準(zhǔn)的基礎(chǔ)前提

1.1 設(shè)備檢查與環(huán)境適配

• 設(shè)備外觀與連接檢查：首先檢查傳感器（Φ50×19mm）、監(jiān)視器（96×35×145mm）外觀無劃痕、破損，重點(diǎn)查看傳感器測量面是否清潔無雜質(zhì)。隨后檢查2米長連接電纜是否有破損、斷線，連接傳感器與監(jiān)視器時(shí)確保接口插緊，無松動(dòng)或接觸不良情況。

• 環(huán)境溫度適配：儀器內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能，但溫差過大仍可能影響初始精度。若測量環(huán)境與設(shè)備存放環(huán)境溫差超過5℃，需將傳感器和監(jiān)視器一同置于測量環(huán)境中穩(wěn)定15-20分鐘；若用于半導(dǎo)體車間、計(jì)量實(shí)驗(yàn)室等高精度場景，建議開機(jī)后預(yù)熱10分鐘再進(jìn)行測量。

• 場地清理：被測表面需清理干凈，去除鐵屑、油污、灰塵等雜質(zhì)，避免因接觸面不平整導(dǎo)致測量偏差。對(duì)于狹窄空間（如半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部），需提前清理周邊障礙物，確保傳感器能平穩(wěn)放置且不被磕碰。

1.2 電源與配件安裝

• 電源選擇與連接：儀器支持兩種供電方式，長期固定場景建議使用專用AC適配器（DC6V/2A），將適配器插頭插入監(jiān)視器電源接口，另一端接入220V交流電源；移動(dòng)測量場景可裝入4節(jié)AA電池，打開監(jiān)視器電池倉蓋，按正負(fù)極標(biāo)識(shí)安裝電池，確保供電穩(wěn)定。

• 輔助配件準(zhǔn)備：根據(jù)場景需求準(zhǔn)備輔助工具，如狹窄空間測量時(shí)可搭配專用延長支架；強(qiáng)光環(huán)境下需準(zhǔn)備屏幕遮光罩；數(shù)據(jù)記錄場景需提前連接數(shù)據(jù)傳輸線（適配儀器數(shù)據(jù)輸出接口）至電腦或數(shù)據(jù)采集設(shè)備。

二、基礎(chǔ)操作流程：從開機(jī)到測量的標(biāo)準(zhǔn)步驟

2.1 開機(jī)與參數(shù)設(shè)置

1. 開機(jī)啟動(dòng)：按下監(jiān)視器側(cè)面的電源鍵，儀器啟動(dòng)后會(huì)進(jìn)行自檢，屏幕顯示“SEM SELN-001B"標(biāo)識(shí)及傳感器連接狀態(tài)，若顯示“傳感器連接正常"則進(jìn)入主界面，若提示“連接失敗"需重新插拔電纜并檢查接口。

2. 單位與模式設(shè)置：在主界面點(diǎn)擊“設(shè)置"圖標(biāo)，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置界面。測量單位支持μm/m（微米/米）與角度單位（°、°′″）切換，半導(dǎo)體、機(jī)床場景常用μm/m單位（17.5μ/m≈0.001deg），建筑監(jiān)測場景可選擇角度單位；測量模式默認(rèn)“實(shí)時(shí)測量"，如需連續(xù)監(jiān)測可切換至“連續(xù)記錄"模式，設(shè)置記錄間隔（1-60秒可選）。

3. 合格范圍設(shè)定：點(diǎn)擊“閾值設(shè)置"，根據(jù)場景精度要求輸入X軸、Y軸的合格角度范圍（如半導(dǎo)體光刻機(jī)校準(zhǔn)通常設(shè)為±0.001deg），設(shè)置完成后屏幕會(huì)顯示“合格區(qū)"綠色標(biāo)識(shí)，超出范圍時(shí)數(shù)據(jù)會(huì)顯示為紅色，便于快速判斷。

2.2 測量與調(diào)整操作

1. 傳感器放置：根據(jù)被測對(duì)象選擇放置位置，平面測量時(shí)將傳感器測量面平穩(wěn)貼合被測表面，確保無晃動(dòng)；狹窄空間（如半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔室）可借助傳感器小巧輕便（70克）的優(yōu)勢，伸入縫隙中放置，監(jiān)視器置于外部便于觀察的位置。

2. 實(shí)時(shí)測量與調(diào)整：主界面會(huì)同步顯示X軸（水平方向）、Y軸（垂直方向）的實(shí)時(shí)傾斜數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)更新速度≤50毫秒，可瞬間反饋傾斜變化。調(diào)整時(shí)需同時(shí)觀察兩軸數(shù)據(jù)，通過調(diào)節(jié)被測對(duì)象的支撐腳或調(diào)整機(jī)構(gòu)，使數(shù)據(jù)落入設(shè)定的合格范圍，相比傳統(tǒng)單軸水平儀，雙軸同步顯示可縮短50%以上的調(diào)整時(shí)間。

3. 零點(diǎn)校準(zhǔn)：若需以當(dāng)前位置為基準(zhǔn)零點(diǎn)，點(diǎn)擊主界面“零點(diǎn)設(shè)置"圖標(biāo)，屏幕顯示“零點(diǎn)已校準(zhǔn)"，此時(shí)數(shù)據(jù)會(huì)以當(dāng)前位置為基準(zhǔn)顯示偏差值，適用于相對(duì)傾斜測量場景（如機(jī)床導(dǎo)軌平行度檢測）。

2.3 數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出

• 實(shí)時(shí)記錄：在測量界面點(diǎn)擊“記錄"圖標(biāo)，儀器會(huì)自動(dòng)記錄當(dāng)前X軸、Y軸數(shù)據(jù)及測量時(shí)間，連續(xù)記錄模式下會(huì)按設(shè)定間隔自動(dòng)保存數(shù)據(jù)，最多可存儲(chǔ)1000條測量記錄。

• 數(shù)據(jù)導(dǎo)出：將數(shù)據(jù)傳輸線連接監(jiān)視器的USB接口與電腦，在主界面點(diǎn)擊“導(dǎo)出"，選擇“USB導(dǎo)出"，數(shù)據(jù)會(huì)以Excel格式保存至電腦，便于后續(xù)分析（如建筑監(jiān)測的傾斜度-時(shí)間曲線繪制）。

2.4 收尾與關(guān)機(jī)

三、分場景實(shí)操技巧：適配核心應(yīng)用場景的精準(zhǔn)操作

3.1 半導(dǎo)體制造場景：光刻機(jī)/刻蝕機(jī)校準(zhǔn)

• 光刻機(jī)工作臺(tái)校準(zhǔn)：將傳感器通過專用磁性底座固定在工作臺(tái)中心，確保與工作臺(tái)面緊密貼合；進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置界面，將測量分辨率調(diào)至0.0002deg，合格范圍設(shè)為±0.001deg；調(diào)整工作臺(tái)的三個(gè)支撐腳，觀察屏幕數(shù)據(jù)，直至X、Y軸數(shù)據(jù)穩(wěn)定在合格范圍內(nèi)，同時(shí)記錄調(diào)整前后的數(shù)據(jù)對(duì)比，確保焦平面偏移量≤0.001deg。

• 刻蝕機(jī)反應(yīng)腔室校準(zhǔn)：由于反應(yīng)腔室內(nèi)部空間狹窄，需將傳感器拆卸磁性底座后直接放入腔室晶圓承載臺(tái)，通過2米電纜連接外部監(jiān)視器；開啟溫度補(bǔ)償功能（默認(rèn)開啟），避免腔室溫度變化導(dǎo)致零位漂移；調(diào)整承載臺(tái)的升降機(jī)構(gòu)，確保等離子體分布均勻，校準(zhǔn)完成后需多次測量不同位置（如腔室中心與邊緣），確保整體水平度偏差≤0.002deg。

3.2 精密機(jī)械與機(jī)床場景：導(dǎo)軌與工作臺(tái)安裝

• 導(dǎo)軌平行度測量：在導(dǎo)軌的兩端和中間三個(gè)位置標(biāo)記測量點(diǎn)，將傳感器放置在第一個(gè)測量點(diǎn)，點(diǎn)擊“零點(diǎn)設(shè)置"；沿導(dǎo)軌依次移動(dòng)傳感器至其他測量點(diǎn)，記錄各點(diǎn)的X軸偏差值，若偏差超過±0.001deg，需調(diào)整導(dǎo)軌的固定螺栓，直至各點(diǎn)偏差值≤0.001deg，確保導(dǎo)軌平行度符合要求。

• 工作臺(tái)平面度校準(zhǔn)：將工作臺(tái)分為9個(gè)均勻分布的測量點(diǎn)，逐個(gè)點(diǎn)測量X、Y軸數(shù)據(jù)，繪制平面度誤差圖；針對(duì)數(shù)據(jù)超標(biāo)的點(diǎn)位，調(diào)整工作臺(tái)底部的支撐螺栓，雙軸同步調(diào)整時(shí)需緩慢操作，避免單次調(diào)整幅度過大導(dǎo)致數(shù)據(jù)波動(dòng)，調(diào)整后再次測量各點(diǎn)，確保平面度誤差小于等于0.003deg。

3.3 醫(yī)療設(shè)備場景：CT/MRI設(shè)備校準(zhǔn)

3.4 大型工程場景：建筑傾斜監(jiān)測與橋梁校準(zhǔn)

• 高層建筑傾斜監(jiān)測：將傳感器通過膨脹螺栓固定在建筑頂層的承重柱上，確保安裝牢固無震動(dòng)；設(shè)置測量單位為角度單位（°），合格范圍設(shè)為±0.01deg，連續(xù)記錄間隔設(shè)為30秒；通過數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能將每日數(shù)據(jù)整理為傾斜度-時(shí)間曲線，若發(fā)現(xiàn)曲線呈線性上升趨勢，需及時(shí)預(yù)警結(jié)構(gòu)沉降風(fēng)險(xiǎn)。

• 橋梁支座水平度檢測：在橋梁的每個(gè)支座位置放置傳感器，同時(shí)啟動(dòng)多臺(tái)儀器（支持同步測量），記錄各支座的X、Y軸數(shù)據(jù)；對(duì)比不同支座的數(shù)據(jù)偏差，若偏差超過±0.02deg，需調(diào)整支座的墊片厚度，確保橋梁受力均勻，避免局部應(yīng)力過大導(dǎo)致結(jié)構(gòu)損壞。

四、校準(zhǔn)與維護(hù)：保障設(shè)備長期高精度的關(guān)鍵

4.1 日常校準(zhǔn)（每月一次）

4.2 定期維護(hù)（按場景頻率執(zhí)行）

• 清潔保養(yǎng)：每月用無水乙醇擦拭傳感器測量面和電纜接口，清除油污和雜質(zhì)；每季度檢查電池觸點(diǎn)，若有氧化痕跡用細(xì)砂紙輕輕打磨，確保接觸良好。

• 部件檢查：每6個(gè)月檢查電纜是否有老化、破損，傳感器測量面是否有劃痕；每年將儀器送至原廠或授權(quán)機(jī)構(gòu)進(jìn)行全面檢測，更換老化部件（如電池倉彈簧、電纜接口）。

• 存儲(chǔ)維護(hù)：長期不使用時(shí)，需取出電池，將儀器放入干燥、通風(fēng)的收納盒，避免陽光直射和潮濕環(huán)境（存儲(chǔ)濕度≤60%，溫度0-40℃）。

五、常見問題解決：快速排查實(shí)操故障

六、總結(jié)：發(fā)揮高精度優(yōu)勢的核心原則